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          • 深圳市夢啟半導體裝備有限公司

            半自動上蠟機

            型號:DL-SL305A/SL360A

            半自動上蠟機采用固態(tài)蠟熔蠟方式,精確、定量滴蠟;精密氣壓控制,可精準控制蠟厚,貼片后的TTV≤5um。

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            半自動上蠟機
            設(shè)備優(yōu)勢

            ◎ 采用固態(tài)蠟熔蠟方式,精確、定量滴蠟。


            ◎ 加熱冷卻盤內(nèi)部采用精密加熱和自動冷卻系統(tǒng),可精確控制盤面溫度。


            ◎ 采用獨立氣缸壓片方式,精密氣壓控制,可精準控制蠟厚。


            ◎ 貼片后的TTV≤5um。

            性能參數(shù)
            參數(shù)名稱單位DL-SL305ADL-SL360A
            晶圓尺寸in?4'' (?2''/?4'')

            ?6'' (?4''/?6'')

            陶瓷盤尺寸mm?305x15?360x15
            噴蠟量
            g0.1~0.350.1~0.35
            加熱盤溫控范圍60~180

            60~180

            上蠟厚度TTV
            um≤5≤5
            噴蠟重復定位精度mm±0.05±0.05
            噴蠟精度g±0.02±0.02
            加壓氣缸Kg500~1000500~1000
            設(shè)備尺寸(W x D x H)mm1350x1350x17001550x1550x1900
            設(shè)備重量Kg約800約1000
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            晶圓上蠟機根據(jù)客戶不同的需求進行定制,滿足不同客戶的需求,擁有專業(yè)技術(shù)團隊,設(shè)備精度高,使用壽命高,負責上門安裝調(diào)試及培訓

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